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簡要描述：【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設(shè)備廠家，公司主要生產(chǎn)高低溫沖擊氣流儀（熱流儀）、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片、航空航天、天文探測、電池包氫能源等領(lǐng)域的可靠性測試提供整套溫度環(huán)境解決方案。Chiller制冷技術(shù)為半導體行業(yè)提供解決方案
產(chǎn)品型號：FLTZ-805廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-03-12訪 問 量：580| 品牌 | 冠亞恒溫 | 冷卻方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 10萬-50萬 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 儀器種類 | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
Chiller制冷技術(shù)為半導體行業(yè)提供解決方案
Chiller制冷技術(shù)為半導體行業(yè)提供解決方案
在薄膜沉積工藝中，Chiller系統(tǒng)的性能直接影響到薄膜質(zhì)量和工藝穩(wěn)定。隨著半導體和顯示面板行業(yè)的發(fā)展，對薄膜沉積工藝的溫度控制要求越來越高。
一、Chiller系統(tǒng)選型要點
薄膜沉積工藝對溫度控制有著較高的要求。在選型時，首先要準確計算工藝設(shè)備的散熱負荷，考慮熱負荷和動態(tài)負荷變化。
溫控精度是選型的關(guān)鍵指標。建議選擇采用PID控制算法的機型，能夠?qū)崿F(xiàn)溫度調(diào)節(jié)。同時，要考慮系統(tǒng)的響應(yīng)速度，確保能夠快速響應(yīng)工藝溫度變化。
水質(zhì)要求也是選型的考慮因素。薄膜沉積工藝通常要求使用超純水作為制冷介質(zhì)，因此需要選擇能夠滿足高水質(zhì)要求的Chiller系統(tǒng)。建議選擇配備完善水處理系統(tǒng)的機型，包括去離子裝置和微生物控制設(shè)備。
二、安裝注意事項
Chiller系統(tǒng)應(yīng)盡量靠近工藝設(shè)備，縮短管路長度，減少熱損失。同時要預留足夠的維護空間，確保日常維護和檢修的便利性。
管路設(shè)計需要考慮熱膨脹和振動隔離。建議采用不銹鋼管路，減少腐蝕風險。在關(guān)鍵位置安裝膨脹節(jié)和減震器，防止熱應(yīng)力和振動對系統(tǒng)的影響。
電氣安裝要符合相關(guān)規(guī)范，確保接地可靠。建議為Chiller系統(tǒng)配置配電柜，并安裝過載保護和漏電保護裝置。控制線路要采用隔離電纜，防止電磁干擾。
系統(tǒng)調(diào)試是安裝的重要環(huán)節(jié)之一。首先要進行水系統(tǒng)沖洗，確保管路清潔。然后進行系統(tǒng)試運行，檢查各部件運行狀態(tài)，調(diào)整控制參數(shù)，確保系統(tǒng)達到設(shè)計要求。
